真空系統(tǒng)中各個(gè)真空泵的功能

根據(jù)真空泵的性能.在各種應(yīng)用的真空系統(tǒng)中，各類泵可承扣如下一些工作:
1)主泵。在真空系統(tǒng)中，用來獲得所要求的真空度的真空泵。

2)粗抽泵。從大氣壓開始，降低系統(tǒng)的壓力，達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵。

3)前級(jí)泵。用以使另一個(gè)泵的前級(jí)壓力維持在其最高許可的前級(jí)壓力以下的真空泵。前級(jí)泵也可以做粗抽泵使用。

4)維持泵。在真空系統(tǒng)中，當(dāng)抽氣量很小時(shí)，不能有效地利用主要前級(jí)泵。為此，在真空系統(tǒng)中配置一種容最較小的輔助前級(jí)泵，維持主泵正常工作，或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。

5)粗(低)真空泵。從大氣壓開始.降低容器壓力且工作在低真空范圍的真空泵。

6)高真空泵。在高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。

7)超高真空泵。在超高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。

8)增壓泵。裝于高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍內(nèi)的抽氣量，或降低前級(jí)泵容蛋要求的真空泵，如機(jī)械增壓泵和油增壓泵等。

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